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產品資料

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日本神視晶圓定位傳感器環境兼容性

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產品名稱: 日本神視晶圓定位傳感器環境兼容性

產品型號:

產品展商: SUNX

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簡單介紹

日本神視晶圓定位傳感器環境兼容性投光元件 LED(調制式) 材質外殼：ABS及SUS301、透鏡：丙烯電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜，長300mm 電纜延長 0.15mm2 以上的電纜全長可延長至10m 日本神視晶圓定位傳感器環境兼容性

日本神視晶圓定位傳感器環境兼容性 的詳細介紹

日本神視晶圓定位傳感器環境兼容性

產品樣本：

實現0.5ms的*速反應。兼顧*速反應性和*精度。
基于2段受光元件的*精度位置檢測
利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進行檢測。
因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。
因此，對于使用單波長激光的傳感器，可能會因光全被吸收而無法檢測。

而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準確檢測。

結構圖：

中心測量距離		45mm
檢測物體		3英寸以上的半導體晶圓(注2)
可對應檢測面		有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)
檢測角度		12.5±5°(注4)
晶圓間距		間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)
適用晶圓盒		SEMI規格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓		12?24V DC±10%　脈動P-P10%以下
消耗電流		65mA以下

日本神視晶圓定位傳感器環境兼容性

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日本神視晶圓定位傳感器環境兼容性

日本神視晶圓定位傳感器環境兼容性 投光元件 LED(調制式) 材質 外殼：ABS及SUS301、透鏡： 丙烯 電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜，長300mm 電纜延長 0.15mm2 以上的電纜全長可延長至10m 日本神視晶圓定位傳感器環境兼容性

日本神視晶圓定位傳感器環境兼容性投光元件 LED(調制式) 材質外殼：ABS及SUS301、透鏡：丙烯電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜，長300mm 電纜延長 0.15mm2 以上的電纜全長可延長至10m 日本神視晶圓定位傳感器環境兼容性